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    各類真空泵適用的工藝類型

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    各類真空泵適用的工藝類型

    發布日期:2021-05-13 作者: 點擊:

    1)水環真空泵。適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保險、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

    2)往復真空泵。適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空干燥、鋼液真空處理等工藝。往復真空泵與水環真空泵使用的工藝基本相同。但是。往復真空泵不能直接抽水蒸汽,需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱,采用制冷壓縮機系統冷卻。
    3)油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)。適用與真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中使用。當前,旋片式油封機械真空泵(如普旭真空泵、愛發科ulvac真空計),做為直排大氣的前級泵,使用的量大面廣。
    4)羅茨真空泵(機械增壓泵、愛發科ulvac真空計)。適用于真空燒結、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝中使用。絕大多數羅茨泵都不能直排大氣,需要配合旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣,主要用于造紙工業中。
    5)油增壓泵。適用于真空冶煉、真空燒結、真空釬焊、真空熱處理等工藝中使用。它與機械增壓泵相類似,不能直排大氣,必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵。
    6)油擴散泵。適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、電子真空器件、真空分析儀器、真空檢漏儀、宇宙空間真空模擬裝置、加速器真空系統等工藝中使用。它適合于抽取高真空使用,本身不能直排大氣,必須配備前級真空泵。
    7)干泵(包括螺桿泵、渦旋泵、和爪形泵、愛發科ulvac真空計)。適用于無油清潔的真空工藝過程,例如半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝使用,這幾種泵都能直排大氣。
    8)吸附泵。適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。
    9)鈦泵(包括濺射離子泵、升華泵、愛發科ulvac真空計)。適用于真空鍍膜、大規模集成電路、表面物理和表面化學、熱核物理、等離子體物理和超導技術等工作中使用。
    10)分子泵。適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器、熱核反應和宇航技術工作中使用。
    11)水噴射泵。適合于真空導料、真空輸送、輕工、化工、化纖、制藥、涂料、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚和真空除氧等工藝領域中使用。
    12)水蒸氣噴射泵。適合于真空冶燒、真空脫氣、真空蒸發、真空干燥和真空回潮等工藝中使用。
    13)低溫泵。適合于真空鍍膜、表面物理、超導技術和宇航技術等工作中使用。

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