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    小型真空鍍膜裝置 VTR-350M/ERH

    小型真空鍍膜裝置 VTR-350M/ERH

    • 所屬分類:真空鍍膜機 (DEPOX系列)

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2018/01/01
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    詳細介紹

    小型真空鍍膜裝置 VTR-350M/ERH

    DEPOX系列/小型真空鍍膜裝置





    特 性在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、皮拉尼真空計、電離真空計、真空管、電力系統等必要機器的電阻加熱式小型真空蒸發裝置。DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。使用簡單,Z適合用于基礎研究開發等實驗。 應 用1.金屬與有機材料鍍膜裝置。2.真空排氣設備的多種組合。3.強化安全性與可靠性。4.多層鍍膜與同時鍍膜(Z大:4 層)還配有額外蒸發電源與電極。5.玻璃鐘罩方便觀察與維護。


    規格參數

    型 號
    VTR-350M/ERH
    真空性能
    極限壓力
    4.0 × 10-4Pa
    2.0 × 10-4Pa (使用液氮時)※1
    排氣時間
    4.0 × 10-3Pa/10min 
    3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮時)※1
    真空艙
    鐘罩尺寸
    玻璃鐘罩 (直徑300mm × 300mm(H))
    饋通圈
    12個端口(8側面、4底面)
    標準基板?Z大尺寸 ※2
    □50mm ? □140mm(Z大)
    供電系統
    蒸發電極結構
    1點式
    蒸發電源
    SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (Z大)
    排氣系統
    主泵
    渦輪分子泵(氣冷) 345 L/sec
    液氮冷阱
    可選
    前級泵
    油旋片真空泵 200 L/min
    油霧過濾器
    油霧過濾器 OMI-200
    操作系統
    主閥門
    蝶閥
    副閥門
    三向切換閥
    自動滲漏閥
    控制
    手動控制
    控制系統
    皮拉尼真空計
    GP-1G
    電離真空計
    GI-M2
    外形
    尺寸(主體)
    730mm(W) × 584mm(D) × 1161mm(H)
    尺寸(蒸發電源)
    480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
    重量(主體)
    165kg
    重量(蒸發電源)
    40kg

    ※1 : LN2冷阱為選件。
    ※2 : 不考慮基板Z大尺寸時的膜厚分布值。

    條件

    型 號
    VTR-350M/ERH
    電源需求
    主體
    單相, 100V, 1.4kVA
    蒸發電源
    單相, 200V, 1.5kVA
    接地端子D級(接地抗阻/100Ω 或更低)
    附件
    主體 : 單相、100V
    乙烯絕緣軟電纜(R3.5-4帯端子) 4m
    蒸發電源 : 單相、200V
    乙烯絕緣軟電纜(R2.0-5帯端子) 2m


    外形圖

    VTR-350M/ERH


    蒸發電源 SEREM
    饋通圈
    標準構造


    根據研究和開發的目的、可以變更。
    可 選 部 件
    有豐富的真空泵及真空設備的選項配件。


    真空泵
    真空泵油 (SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7)油旋片真空泵的專用油
    油霧過濾器 (OMT)用來防止從油旋片真空泵的排氣口中流出油煙
    直線過濾器 (OMI)用來防止從排氣口中流出油煙以及用來連接排氣管道
    油霧過濾器接口用來變換真空泵排氣口的螺絲直徑
    油霧分離器 (OMC)用來防止從耐腐蝕性油旋片真空泵的排氣口中流出油煙
    吸氣口過濾器 (OFI)用來防止油反向擴散/粉狀體和液狀體混入
    真空泵吸排氣過濾器 (SGT)既可以設置在真空側也可以設置在排氣側的過濾器
    適配器用來變換真空泵吸氣口的直徑
    橡膠真空軟管真空泵與容器等連接用的管道
    油旋片真空泵吸排氣管用來變換真空泵吸氣口及排氣口的直徑
    波爾登壓力計表示絕對壓力的模擬真空計
    設備
    DEPOX (VFR / VWR / VTR / VTS) 真空鍍膜機蒸發裝置的定制商品
    VPC-1100 高速真空鍍膜機蒸發裝置的定制商品
    VPC-260F 真空鍍膜機蒸發裝置的定制商品
    真空排氣裝置排氣裝置的定制商品

    真空連接用零件
    卡箍/中心環/無孔法蘭/噴嘴/接管/ T型接頭/ 十字接頭/變徑接頭/KF 法蘭/測量計接口/滲漏閥/VCR 接口/彎管真空泵與真空機器的管道零件


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