您好，歡迎您光臨昆山熙日機械設備有限公司！
0512-36687634
0512-36687634
昆山熙日機械設備有限公司
聯系人： 張小姐
手機：（0）13913143077
聯系人：李先生
手機：（0）15895662155
郵箱：kssunnyjx@126.com
ＱＱ：1191890920
微信：kssunnyjx
網址：www.leybold-inficon.com
www.juegosdelossimpson2.com
辦公地址：江蘇省昆山市長江南路77號
維修地址：江蘇省昆山市花橋鎮星光工業園2A
小型真空鍍膜裝置 VTS-350M/ERH
DEPOX系列／小型真空鍍膜裝置 |
 | 特 性在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、皮拉尼真空計、電離真空計、真空管、電力系統等必要機器的電阻加熱式小型真空蒸發裝置。DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。使用簡單，Z適合用于基礎研究開發等實驗。 應 用1.金屬與有機材料鍍膜裝置。2.真空排氣設備的多種組合。3.強化安全性與可靠性。4.多層鍍膜與同時鍍膜（Z大：4 層）還配有額外蒸發電源與電極。5.玻璃鐘罩方便觀察與維護。 |
規格參數
型 號 | VTS-350M/ERH | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 4.0 × 10-4Pa 2.0 × 10-4Pa (使用液氮時)※1 |
排氣時間 | 4.0 × 10-3Pa/15min 3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮時)※1 | |
| 真空艙 | 鐘罩尺寸 | 玻璃鐘罩 （直徑300mm × 300mm(H)) |
饋通圈 | 12個端口（8側面、4底面） | |
標準基板?Z大尺寸 ※2 | □50mm ? □140mm（Z大） | |
| 供電系統 | 蒸發電極結構 | 1點式 |
蒸發電源 | SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (Z大) | |
| 排氣系統 | 主泵 | 渦輪分子泵（氣冷） 345 L/sec |
液氮冷阱 | 可選 | |
前級泵 | 渦旋干式真空泵 250 L/min | |
油霧過濾器 | – | |
| 操作系統 | 主閥門 | 蝶閥 |
副閥門 | 三向切換閥 | |
自動滲漏閥 | 有 | |
控制 | 手動控制 | |
| 控制系統 | 皮拉尼真空計 | GP-1G |
電離真空計 | GI-M2 | |
| 外形 | 尺寸（主體） | 730mm(W) × 584mm(D) × 1161mm(H) |
尺寸（蒸發電源） | 480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H) | |
重量（主體） | 160kg | |
重量（蒸發電源） | 40kg | |
※1 : LN2冷阱為選件。
※2 : 不考慮基板Z大尺寸時的膜厚分布值。
條件
型 號 | VTS-350M/ERH | |
| 電源需求 | 主體 | 單相, 100V, 0.9kVA |
蒸發電源 | 單相, 200V, 1.5kVA | |
| 接地端子 | D級（接地抗阻/100Ω 或更低） | |
| 附件 | 主體 ： 單相、100V | 乙烯絕緣軟電纜（R3.5-4帯端子） 4m |
蒸發電源 ： 單相、200V | 乙烯絕緣軟電纜（R2.0-5帯端子） 2m | |
外形圖
 VTS-350M/ERH |
 |
| 蒸發電源 SEREM |
 |  |
| 饋通圈 |
| 標準構造 |
 |
可 選 部 件 有豐富的真空泵及真空設備的選項配件。 |
| 真空泵 |
| 真空泵油 （SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7） | 油旋片真空泵的專用油 |
| 油霧過濾器 （OMT） | 用來防止從油旋片真空泵的排氣口中流出油煙 |
| 直線過濾器 （OMI） | 用來防止從排氣口中流出油煙以及用來連接排氣管道 |
| 油霧過濾器接口 | 用來變換真空泵排氣口的螺絲直徑 |
| 油霧分離器 （OMC） | 用來防止從耐腐蝕性油旋片真空泵的排氣口中流出油煙 |
| 吸氣口過濾器 （OFI） | 用來防止油反向擴散／粉狀體和液狀體混入 |
| 真空泵吸排氣過濾器 （SGT） | 既可以設置在真空側也可以設置在排氣側的過濾器 |
| 適配器 | 用來變換真空泵吸氣口的直徑 |
| 橡膠真空軟管 | 真空泵與容器等連接用的管道 |
| 油旋片真空泵吸排氣管 | 用來變換真空泵吸氣口及排氣口的直徑 |
| 波爾登壓力計 | 表示絕對壓力的模擬真空計 |
| 設備 |
| DEPOX （VFR / VWR / VTR / VTS） 真空鍍膜機 | 蒸發裝置的定制商品 |
| VPC-1100 高速真空鍍膜機 | 蒸發裝置的定制商品 |
| VPC-260F 真空鍍膜機 | 蒸發裝置的定制商品 |
| 真空排氣裝置 | 排氣裝置的定制商品 |
| 卡箍／中心環/無孔法蘭／噴嘴/接管／ T型接頭／ 十字接頭／變徑接頭／KF 法蘭/測量計接口／滲漏閥/VCR 接口／彎管 | 真空泵與真空機器的管道零件 |
熙日真空商城
