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    小型高頻濺射裝置 RFS-201

    小型高頻濺射裝置 RFS-201

    • 所屬分類:真空鍍膜機 (DEPOX系列)

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2018/01/01
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    詳細介紹

    小型高頻濺射裝置 RFS-201


    ※圖片為舊型

    特 性是裝載了RF電源的小型高周波濺射裝置。因為可以為金屬、半導體、絕緣物體成膜,所以Z適合用于基礎研究開發等實驗。 應 用1.緊湊且易于移動。2.TMP 實現高速排氣。3.可通過流量控制閥連續控制進氣4.適當的預濺射

    規格參數

    型 號
    RFS-201
    真空性能
    極限壓力
    6.6 × 10-4Pa
    排氣時間
    6.6 × 10-3Pa/5min
    真空艙
    真空艙
    金屬艙 (200mm(W)×250mm(D)×150mm(H))
    陰極
    直徑80mm 1 電極
    標準基板
    直徑80mm × t1-5mm
    濺射有效區域
    直徑50mm
    濺射速度
    SiO2, 成膜速度大于 20nm/min
    膜厚分布
    SiO2, 在 ±8%直徑50mm
    基板加熱
    Z大 350 ℃
    電極距離
    30mm – 50mm (可變)
    排氣系統
    主泵
    油擴散泵(水冷) 150 L/sec
    液氮冷阱
    可選
    前級泵
    油旋片真空泵 100 L/min
    油霧過濾器
    油霧過濾器 OMT-100A
    操作系統
    主閥門
    瓣閥
    副閥門
    三向切換閥
    自動滲漏閥
    可選
    控制
    手動控制
    控制系統
    射頻電源
    Z大 300W(変量:0 - 300W)
    皮拉尼真空計
    G-TRAN
    電離真空計
    可選
    外形
    尺寸
    764mm(W)× 723mm(D)× 1648mm(H)
    重量
    260kg

    條件

    型 號
    RFS-201
    電源需求
    單相, 50/60Hz, 200V, 2.8kVA
    接地端子
    A級(接地抗阻/10Ω 或更低)
    用水需求
    5.0L/min?。ㄋ疁兀旱陀?5℃、水壓:200-300kPa)
    附件(電源)
    乙烯絕緣軟電纜(R2-5 帯端子) 4m
    附件(接地)
    地線(銅板) 4m
    附件(冷卻水)
    蒂托輪編織軟管 (內徑9mm × 外徑15mm) 4m(2根)

    外形圖

    真空室內部構造

    [1]真空室[2]靶材電極[3]基板電極[4]開閉器[5]電流導入端子[6]熱電偶接線端子[7]真空計孔[8]取樣托盤[9]背板[10]靶材[11]服務端口[12]前門

    可選部件


     液氮冷阱
     電離真空計
     磁控管
     直線過濾器(管道連接類型油霧過濾器)OMI-100
     渦輪分子泵
     直流電源
     導入氣體(2、3 根)
     油旋片真空泵用自動滲漏閥


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