• <blockquote id="2ma84"></blockquote>
    <bdo id="2ma84"><small id="2ma84"></small></bdo>
    <xmp id="2ma84">
  • <wbr id="2ma84"><blockquote id="2ma84"></blockquote></wbr>
  • vat真空閥門

    產品分類

    聯系我們

    昆山熙日機械設備有限公司

    聯系人: 張小姐

    手機:(0)13913143077

    聯系人:李先生

    手機:(0)15895662155

    郵箱:kssunnyjx@126.com

    QQ:1191890920

    微信:kssunnyjx

    網址:www.leybold-inficon.com

    www.juegosdelossimpson2.com

    辦公地址:江蘇省昆山市長江南路77號

    維修地址:江蘇省昆山市花橋鎮星光工業園2A


    IC6 薄膜沉積控制器

    IC6 薄膜沉積控制器

    • 所屬分類:薄膜沉積和電子槍控制裝置

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹


    功能豐富的 IC6 提供提供Z佳測量精度

    IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多獨特的功能,可幫助您實現沉積過程的Z大價值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統,提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量,速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行業中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無法比擬的性能、品質和功能,賦予您的過程卓越的可重復性。

    IC6_web.png

    功能

    • INFICON ModeLock 技術確保獲得Z高、Z穩定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下

    • Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度

    • 支持Z多六個來源同時共鍍膜

    • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況

    • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

    • USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄

    • 強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統(使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器,14 TTL 輸出),并充分利用邏輯功能(100 個邏輯語句)

    • 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控

    • 可容納Z多 50 個過程,每個過程 200 層,這些過程關聯到一起,總共可容納 10,000 層。

    • 多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器

    • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜

    • 可選以太網通信

    • 符合 RoHS 標準

    典型應用

    • 高端光學鍍膜

    規格

    類型IC6
    測量性能
    頻率分辨率
    ±0.0035 Hz @ 6 MHz
    厚度和速率分辨率/測量 (1)
    ±0.00433 ?
    測量頻率范圍
    6.0 to 4.5 MHz (fixed)
    厚度精度 (2)
    0.5%
    測量周期
    0.10 s
    多個測量值平均
    0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
    設計功能
    Auto Z
    yes
    自動色調
    yes
    共沉積
    yes (up to 6 sources)
    過程配方和數據管理
    材料計劃
    32
    過程層(每個過程)
    200
    過程
    50 (processes can be linked together)
    USB 存儲器
    yes
    數據記錄
    yes
    硬件功能
    傳感器 (3)


    8
    雙 / CrystalTwo?
    4 / 8 (with CrystalTwo? Switch)
    CrystalSix?
    8
    Crystal 12?
    8
    通用
    8
    來源控制

    來源數量 (4)
    up to 6
    來源控制電壓
    0 to +/-10 V, adjustable
    輸出分辨率
    15 bits over full range (0 to 10V)
    坩堝位置
    64
    輸入 / 輸出

    輸入
    14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
    輸出
    8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
    記錄器輸出 (4)
    0 to +10 V, adjustable
    邏輯語句
    100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
    通信

    標準
    RS232
    可選
    Ethernet
    顯示器
    厚度分辨率

    1 ? for 0 to 9.999 k?

    10 ? for 10.00 to 99.99 k?

    100 ? for 100.0 to 999.9 k?

    1 k? for 1000 to 9999 k?

    速率分辨率

    0.001 for 0 to 9.999 ?/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

    0.01 for 0 to 99.99 ?/s

    0.1 for 100 to 999.9 ?/s

    操作
    電源要求

    100 – 230 V (ac) +/- 15%

    50 / 60 Hz +/- 3 Hz

    工作溫度
    0 to 50 C (32 to 122 F)
    尺寸,不包括安裝件(高 x 寬 x 深)
    5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
    重量
    23 lbs (10.5 kg)

    (1) 工具/密度 = 100/1,基本頻率 = 6 MHz

    (2) 因流程而異;數值反映典型精確度

    (3) 每種型號的Z大配置

    (4) IC6 有 6 個 DAC 輸出標準,另有 6 種標準可選擇性地添加。這 12 個標準中的任何一個都可作為源控制電壓或記錄器輸出進行配置,但可同時控制的源的數量為 6

    零件號

    IC6_OrderChart_2013_web-01.png

    附件

    名稱說明
    前裝式單傳感器前裝式單傳感器
    前裝式雙傳感器前裝式雙傳感器
    炫酷抽屜單傳感器炫酷抽屜單傳感器
    炫酷抽屜雙傳感器炫酷抽屜雙傳感器
    UHV 可烘烤傳感器UHV 可烘烤傳感器
    ALD 探頭ALD 探頭
    濺射傳感器濺射傳感器
    CrystalSix 傳感器CrystalSix 傳感器
    Crystal 12 傳感器Crystal 12 傳感器
    RSH-600 旋轉式傳感器RSH-600 旋轉式傳感器
    零件號明細
    755-262-G1Handheld Power Controller
    779-220-G1CrystalTwo 開關,15.2 cm (6 in.) BNC 電纜
    779-220-G2CrystalTwo 開關,50.8 cm (20 in.) BNC 電纜
    Oscillator kits(包括振蕩器和電纜)

    781-611-G15帶 4.6 米(15 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-611-G30帶 9.1 米(30 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-611-G50帶 15.2 米(50 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-611-G100帶 30.5 米(100 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-612-G15帶 4.6 米(15 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-612-G30帶 9.1 米(30 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-612-G50帶 15.2 米(50 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-612-G100帶 30.5 米(100 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-613-G15帶 4.6 米(15 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-613-G30帶 9.1 米(30 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-613-G50帶 15.2 米(50 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-613-G100帶 30.5 米(100 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    Oscillator Only(未隨附電纜)
    781-600-G1XIU(振蕩器)- 用于長度為 15 至 183 厘米(6 至 72 英寸)的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-600-G2XIU(振蕩器)- 用于長度為 3 至 4 米(118 至 157 英寸)的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2 或 IC6 配合使用
    Cables
    600-1261-P10030.5 米(100 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P154.6 米(15 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P309.1 米(30 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P5015.2 米(50 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    755-257-G615.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,XIU 至真空饋入件

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體


    相關標簽:?薄膜沉積和電子槍控制裝置,IC6薄膜沉積控制器價格,IC6薄膜沉積控制器批發

    上一篇:Cygnus 2 薄膜沉積控制器
    下一篇:沒有了

    Z近瀏覽:

    在線客服
    分享 一鍵分享