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    Cygnus 2 薄膜沉積控制器

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    Cygnus 2 薄膜沉積控制器

    Cygnus 2 薄膜沉積控制器

    • 所屬分類：薄膜沉積和電子槍控制裝置

    • 點擊次數：
    • 發布日期：2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    Cygnus 2 薄膜沉積控制器

    為 OLED 應用提供Z佳測量精度

    Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上，增添了更多獨特的功能，可幫助您實現 OLED 過程的Z大價值。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測量系統，提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器無法比擬的性能、品質和功能，賦予您的過程卓越的可重復性。

    Cygnus2_web.png

    功能

    • INFICON ModeLock 技術確保獲得Z高、Z穩定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下

    • Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度

    • 一個 Cygnus 2 即可同時、單獨或以任何組合方式控制Z多 6 個來源，無需使用兩個或三個控制器

    • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況

    • 10 Hz 測量

    • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

    • USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄

    • 多個源厚度合計功能

    • 測量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積Z多 30 秒）

    • 速率顯示分辨率可達0.001?

    • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜

    • 無沉積控制允許持續控制源，因為基片可以通過沉積室不斷循環

    • 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控

    • 可選以太網通信

    • 符合 RoHS 標準

    規格

    類型Cygnus 2
    測量性能
    頻率分辨率
    		±0.0035 Hz @ 6 MHz
    厚度和速率分辨率/測量 (1)
    		±0.00433 ?
    測量頻率范圍
    		6.0 to 4.5 MHz (fixed)
    厚度精度 (2)
    		0.5%
    測量周期
    		0.10 s
    多個測量值平均
    		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
    設計功能
    多傳感器測量
    		yes (up to 6 sensors)
    Auto Z
    		yes
    共沉積
    		yes (up to 6 sensors)
    過程配方和數據管理
    材料計劃
    		6 independent materials
    USB 存儲器
    		yes
    數據記錄
    		yes
    硬件功能
    傳感器 (3)

    單
    		6
    帶 CrystalTwo? 的雙
    		6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input)
    CrystalSix?
    		6
    Crystal 12?
    		6
    通用
    		6
    來源控制

    來源數量 (4)
    		up to 6
    來源控制電壓
    		0 to +/-10 V, adjustable
    輸出分辨率
    		15 bits over full range (0 to 10V)
    坩堝位置
    		64
    輸入 / 輸出

    輸入
    		14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
    輸出
    		8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
    記錄器輸出 (4)
    		0 to +10 V, adjustable
    邏輯語句
    		100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
    通信

    標準
    		RS232
    可選
    		Ethernet
    顯示器
    厚度分辨率

    1 ? for 0 to 9.999 k?

    10 ? for 10.00 to 99.99 k?

    100 ? for 100.0 to 999.9 k?

    1 k? for 1000 to 9999 k?

    速率分辨率

    0.001 for 0 to 9.999 ?/s

    0.01 for 0 to 99.99 ?/s

    0.1 for 100 to 999.9 ?/s

    操作
    電源要求

    100 – 230 V (ac) +/- 15%

    50 / 60 Hz +/- 3 Hz

    工作溫度
    		0 to 50 C (32 to 122 F)
    尺寸，不包括安裝件（高 x 寬 x 深）
    		5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
    重量
    		13 lbs (5.9 kg)

    (1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲

    (2) 隨過程變化；數值表示典型的精度

    (3) 每種類型的Z大配置

    (4) Cygnus 2 有 6 個 DAC 輸出標準，還可選擇再添加 6 個?？蓪?nbsp;12 個中的任何一個配置為來源控制電壓或記錄器輸出，但可同時控制的來源數量為 6

    零件號

    Cygnus2_OrderChart_2013_web-01.png

    附件

    名稱說明
    前裝式單傳感器前裝式單傳感器
    前裝式雙傳感器前裝式雙傳感器
    炫酷抽屜單傳感器炫酷抽屜單傳感器
    炫酷抽屜雙傳感器炫酷抽屜雙傳感器
    ALD 探頭ALD 探頭
    UHV 可烘烤傳感器UHV 可烘烤傳感器
    濺射傳感器濺射傳感器
    CrystalSix 傳感器CrystalSix 傳感器
    Crystal 12 傳感器Crystal 12 傳感器
    RSH-600 旋轉式傳感器RSH-600 旋轉式傳感器
    零件號明細
    755-262-G1Handheld Power Controller
    779-220-G1CrystalTwo 開關，15.2 cm (6 in.) BNC 電纜
    779-220-G2CrystalTwo 開關，50.8 cm (20 in.) BNC 電纜
    Oscillator kits（包括振蕩器和電纜）

    781-611-G15帶 4.6 米（15 英尺）電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-611-G30帶 9.1 米（30 英尺）電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-611-G50帶 15.2 米（50 英尺）電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-611-G100帶 30.5 米（100 英尺）電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-612-G15帶 4.6 米（15 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-612-G30帶 9.1 米（30 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-612-G50帶 15.2 米（50 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-612-G100帶 30.5 米（100 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-613-G15帶 4.6 米（15 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-613-G30帶 9.1 米（30 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-613-G50帶 15.2 米（50 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-613-G100帶 30.5 米（100 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    Oscillator Only（未隨附電纜）
    781-600-G1XIU（振蕩器）- 用于長度為 15 至 183 厘米（6 至 72 英寸）的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
    781-600-G2XIU（振蕩器）- 用于長度為 3 至 4 米（118 至 157 英寸）的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2 或 IC6 配合使用
    Cables
    755-257-G615.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜，XIU 至真空饋入件
    600-1261-P154.6 米（15 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P309.1 米（30 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P5015.2 米（50 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P10030.5 米（100 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體


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