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    XTC/3 薄膜沉積控制器

    XTC/3 薄膜沉積控制器

    • 所屬分類:薄膜沉積和電子槍控制裝置

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    XTC/3 薄膜沉積控制器

    技術先進,經濟實惠,可對單層或多層薄膜進行速率控制

    XTC 3膜厚控制儀.jpg
    立即了解用于單層和多層過程的薄膜沉積控制器的詳細信息。XTC/3 帶有專利 ModeLock,提供跳模預防功能,確保獲得始終如一的質量。使用 XTC/3 薄膜沉積控制器,您可以高度精確地控制沉積速率和厚度,獲得幾乎適用于所有層的容量,而且控制器安裝簡便,具有極高可靠性,可確保高生產力。

    INFICON 是薄膜沉積控制領域的全球領導者,現在提供的這款儀器具有極低的擁有成本,可為客戶帶來空前的價值。

    無論您需要的是生產、研發還是開發方面的控制,您都將發現 INFICON XTC/3 能夠完美滿足您的需求。

    全球 INFICON 支持

    無論您身在何處,都可獲得快速回復、貼心服務以及Z長運行時間。INFICON 是唯一一家在全球設有本地服務與技術支持中心的薄膜沉積控制器制造商,其辦事處遍布全球。

    功能

    • 提供有單層和多層型號

    • 專利 ModeLock 技術可避免跳模引起的薄膜厚度誤差

    • 支持 Crystal 12?、Crystal Six? 和雙傳感器自動晶體轉換,從而Z大化生產力

    • XTC/3M 多層型號Z多支持 99 個過程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個傳感器和兩種源

    • XTC/3S 單層型號Z多支持 9 種薄膜、2 個傳感器和兩種源

    • 易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器

    • 可以為薄膜和過程分配唯一的描述性名稱,以便于檢索

    • 提供以太網連接

    • 獨立式(不需要計算機)或便于 PC 操作的可選 Windows? 軟件

    • 插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)

    典型應用

    • 高端光學鍍膜

    新聞

    XTC/3 前面板已根據 INFICON
    公司的新標準進行重新設計。

    XTC/3M 是第一款帶有此新設計的薄膜產品并
    已裝配在當前銷售的新產品中。配備新前面板的
    XTC/3S 將會在 2013 年末開始銷售。其他薄膜產品的前面板更新
    將會在 2014 和 2015 年進行。

    規格

    類型XTC3/SXTC3/M
    頻率分辨率
    ±0.028 Hz @ 6 MHz
    ±0.028 Hz @ 6 MHz
    測量頻率范圍
    6.0 to 5.0 MHz (fixed)6.0 to 5.0 MHz (fixed)
    測量周期
    0.25 seconds0.25 seconds
    厚度和速率分辨率/測量 (1)
    ±0.034 ?±0.034 ?
    測量技術
    ModeLockModeLock
    過程數量
    199
    層數
    1999
    材料計劃(或薄膜)數量
    932
    傳感器輸入數量
    22
    CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持
    YesYes
    支持 XTAL 2 開關
    YesYes
    來源輸出數量
    22
    計算機通信
    RS232 standard, Ethernet TCP/IP optionalRS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
    Z大 RS232 波特率
    115.2 KBaud115.2 KBaud
    自動晶體轉換
    YesYes
    繼電器數量
    12, Not Event Assignable12, Event Assignable
    可編程繼電器功能數量
    11
    每個繼電器的功能
    11
    繼電器額定電壓
    30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
    輸入數量
    8 TTL, 24VDC Max8 TTL, 24VDC Max
    可編程輸入功能數量
    1, Not Event Assignable1, Event Assignable
    記錄器輸出數量
    11
    手動電源 / 手持控制器
    YesYes
    排氣管風扇
    No Exhaust FanNo Exhaust Fan
    測試模式
    YesYes
    閘門延遲
    YesYes
    二次成型模具
    YesYes
    外殼尺寸
    half rack, 2U highhalf rack, 2U high
    速率和厚度顯示分辨率
    0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
    通過輸入選擇膜
    YesNo
    用戶指南語言
    English, ChineseEnglish, Chinese
    控制環路
    PIDPID
    用于從 PC 操作的軟件
    YesYes
    數據記錄
    YesYes
    質量和穩定性功能
    YesYes
    采樣保持 (RateWatcher?)
    YesYes
    坩堝選擇
    YesYes
    坩堝反饋輸入
    YesYes
    選擇控制電壓極性
    Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit ResolutionYes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
    程序鎖定碼
    YesYes
    帶圖形的顯示器
    YesYes
    用戶標記過程(手機式字母數字輸入)
    NoNo
    用戶標記膜(手機式字母數字輸入)
    NoNo
    傳輸傳感器控制
    YesYes
    XTC/2 RS232 通信兼容性
    Yes (limited)Yes (limited)

    (1) 工具/密度 = 100/1,基礎頻率 = 6 兆赫茲

    零件號

    XTC3M-S_OrderChart_2013_web-01.png

    附件

    名稱說明
    前裝式單傳感器前裝式單傳感器
    前裝式雙傳感器前裝式雙傳感器
    炫酷抽屜單傳感器炫酷抽屜單傳感器
    炫酷抽屜雙傳感器炫酷抽屜雙傳感器
    UHV 可烘烤傳感器UHV 可烘烤傳感器
    濺射傳感器濺射傳感器
    CrystalSix 傳感器CrystalSix 傳感器
    Crystal 12 傳感器Crystal 12 傳感器
    RSH-600 旋轉式傳感器RSH-600 旋轉式傳感器
    零件號明細
    780-700-G1Ethernet Module, XTC/3
    755-262-G1Handheld Power Controller
    780-702-G1單件機架安裝套件 – 提供將單臺 XTC/3 安裝到標準 19 in. 機架上需要的所有材料
    780-702-G2兩件機架安裝套件 – 提供將兩臺 XTC/3 并排安裝到標準 19 in. 機架上需要的所有材料
    780-032-G1XTC/3M 或 XTC/3S 編輯器 / 監測器軟件,位于 CD 上
    780-038-G1XTC/3M 或 XTC/3S 通信庫 (DLL),位于 CD 上
    779-220-G1CrystalTwo 開關,15.2 cm (6 in.) BNC 電纜
    779-220-G2CrystalTwo 開關,50.8 cm (20 in.) BNC 電纜
    Oscillator kits(包括振蕩器和電纜)
    780-611-G30帶 30 ft. (9.1 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用
    780-611-G50帶 50 ft. (15.2 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用
    780-611-G100帶 100 ft. (30.5 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用
    780-612-G15帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結合使用
    780-612-G30帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結合使用
    780-612-G50帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結合使用
    780-612-G100帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結合使用
    780-613-G15帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結合使用
    780-613-G30帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結合使用
    780-611-G15帶 5 ft. (4.6 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用
    780-613-G50帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結合使用
    780-613-G100帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC(XIU 至饋入件)電纜 – 與 XTC/3 結合使用
    Oscillator Only(未隨附電纜)
    780-600-G1XTC/3 XIU(振蕩器)- 用于長度為 6 in. 至 72 in.(15 cm 至 183 cm)的 XIU 至傳感器頭部電纜
    780-600-G2XTC/3 XIU(振蕩器)- 用于長度為 118 in. 至 157 in.(3 m 至 4 m)的 XIU 至傳感器頭部電纜
    Cables
    755-257-G615.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,XIU 至真空饋入件
    600-1261-P154.6 米(15 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P309.1 米(30 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P5015.2 米(50 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
    600-1261-P10030.5 米(100 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體


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