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技術先進，經濟實惠，可對單層或多層薄膜進行速率控制
立即了解用于單層和多層過程的薄膜沉積控制器的詳細信息。XTC/3 帶有專利 ModeLock，提供跳模預防功能，確保獲得始終如一的質量。使用 XTC/3 薄膜沉積控制器，您可以高度精確地控制沉積速率和厚度，獲得幾乎適用于所有層的容量，而且控制器安裝簡便，具有極高可靠性，可確保高生產力。
INFICON 是薄膜沉積控制領域的全球領導者，現在提供的這款儀器具有極低的擁有成本，可為客戶帶來空前的價值。
無論您需要的是生產、研發還是開發方面的控制，您都將發現 INFICON XTC/3 能夠完美滿足您的需求。
全球 INFICON 支持
無論您身在何處，都可獲得快速回復、貼心服務以及Z長運行時間。INFICON 是唯一一家在全球設有本地服務與技術支持中心的薄膜沉積控制器制造商，其辦事處遍布全球。
提供有單層和多層型號
專利 ModeLock 技術可避免跳模引起的薄膜厚度誤差
支持 Crystal 12?、Crystal Six? 和雙傳感器自動晶體轉換，從而Z大化生產力
XTC/3M 多層型號Z多支持 99 個過程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個傳感器和兩種源
XTC/3S 單層型號Z多支持 9 種薄膜、2 個傳感器和兩種源
易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器
可以為薄膜和過程分配唯一的描述性名稱，以便于檢索
提供以太網連接
獨立式（不需要計算機）或便于 PC 操作的可選 Windows? 軟件
插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）
高端光學鍍膜
XTC/3 前面板已根據 INFICON
公司的新標準進行重新設計。
XTC/3M 是第一款帶有此新設計的薄膜產品并
已裝配在當前銷售的新產品中。配備新前面板的
XTC/3S 將會在 2013 年末開始銷售。其他薄膜產品的前面板更新
將會在 2014 和 2015 年進行。
| 類型 | XTC3/S | XTC3/M | |
|---|---|---|---|
| 頻率分辨率 | ±0.028 Hz @ 6 MHz | ±0.028 Hz @ 6 MHz | |
| 測量頻率范圍 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 測量周期 | 0.25 seconds | 0.25 seconds | |
| 厚度和速率分辨率/測量 (1) | ±0.034 ? | ±0.034 ? | |
| 測量技術 | ModeLock | ModeLock | |
| 過程數量 | 1 | 99 | |
| 層數 | 1 | 999 | |
| 材料計劃（或薄膜）數量 | 9 | 32 | |
| 傳感器輸入數量 | 2 | 2 | |
| CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持 | Yes | Yes | |
| 支持 XTAL 2 開關 | Yes | Yes | |
| 來源輸出數量 | 2 | 2 | |
| 計算機通信 | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | |
| Z大 RS232 波特率 | 115.2 KBaud | 115.2 KBaud | |
| 自動晶體轉換 | Yes | Yes | |
| 繼電器數量 | 12, Not Event Assignable | 12, Event Assignable | |
| 可編程繼電器功能數量 | 1 | 1 | |
| 每個繼電器的功能 | 1 | 1 | |
| 繼電器額定電壓 | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | |
| 輸入數量 | 8 TTL, 24VDC Max | 8 TTL, 24VDC Max | |
| 可編程輸入功能數量 | 1, Not Event Assignable | 1, Event Assignable | |
| 記錄器輸出數量 | 1 | 1 | |
| 手動電源 / 手持控制器 | Yes | Yes | |
| 排氣管風扇 | No Exhaust Fan | No Exhaust Fan | |
| 測試模式 | Yes | Yes | |
| 閘門延遲 | Yes | Yes | |
| 二次成型模具 | Yes | Yes | |
| 外殼尺寸 | half rack, 2U high | half rack, 2U high | |
| 速率和厚度顯示分辨率 | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | |
| 通過輸入選擇膜 | Yes | No | |
| 用戶指南語言 | English, Chinese | English, Chinese | |
| 控制環路 | PID | PID | |
| 用于從 PC 操作的軟件 | Yes | Yes | |
| 數據記錄 | Yes | Yes | |
| 質量和穩定性功能 | Yes | Yes | |
| 采樣保持 (RateWatcher?) | Yes | Yes | |
| 坩堝選擇 | Yes | Yes | |
| 坩堝反饋輸入 | Yes | Yes | |
| 選擇控制電壓極性 | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution | |
| 程序鎖定碼 | Yes | Yes | |
| 帶圖形的顯示器 | Yes | Yes | |
| 用戶標記過程（手機式字母數字輸入） | No | No | |
| 用戶標記膜（手機式字母數字輸入） | No | No | |
| 傳輸傳感器控制 | Yes | Yes | |
| XTC/2 RS232 通信兼容性 | Yes (limited) | Yes (limited) | |
(1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲
| 名稱 | 說明 |
|---|---|
| 前裝式單傳感器 | 前裝式單傳感器 |
| 前裝式雙傳感器 | 前裝式雙傳感器 |
| 炫酷抽屜單傳感器 | 炫酷抽屜單傳感器 |
| 炫酷抽屜雙傳感器 | 炫酷抽屜雙傳感器 |
| UHV 可烘烤傳感器 | UHV 可烘烤傳感器 |
| 濺射傳感器 | 濺射傳感器 |
| CrystalSix 傳感器 | CrystalSix 傳感器 |
| Crystal 12 傳感器 | Crystal 12 傳感器 |
| RSH-600 旋轉式傳感器 | RSH-600 旋轉式傳感器 |
| 零件號 | 明細 |
|---|---|
| 780-700-G1 | Ethernet Module, XTC/3 |
| 755-262-G1 | Handheld Power Controller |
| 780-702-G1 | 單件機架安裝套件 – 提供將單臺 XTC/3 安裝到標準 19 in. 機架上需要的所有材料 |
| 780-702-G2 | 兩件機架安裝套件 – 提供將兩臺 XTC/3 并排安裝到標準 19 in. 機架上需要的所有材料 |
| 780-032-G1 | XTC/3M 或 XTC/3S 編輯器 / 監測器軟件，位于 CD 上 |
| 780-038-G1 | XTC/3M 或 XTC/3S 通信庫 (DLL)，位于 CD 上 |
| 779-220-G1 | CrystalTwo 開關，15.2 cm (6 in.) BNC 電纜 |
| 779-220-G2 | CrystalTwo 開關，50.8 cm (20 in.) BNC 電纜 |
| Oscillator kits | （包括振蕩器和電纜） |
| 780-611-G30 | 帶 30 ft. (9.1 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-611-G50 | 帶 50 ft. (15.2 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-611-G100 | 帶 100 ft. (30.5 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-612-G15 | 帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-612-G30 | 帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-612-G50 | 帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-612-G100 | 帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-613-G15 | 帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-613-G30 | 帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-611-G15 | 帶 5 ft. (4.6 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-613-G50 | 帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用 |
| 780-613-G100 | 帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用 |
| Oscillator Only | （未隨附電纜） |
| 780-600-G1 | XTC/3 XIU（振蕩器）- 用于長度為 6 in. 至 72 in.（15 cm 至 183 cm）的 XIU 至傳感器頭部電纜 |
| 780-600-G2 | XTC/3 XIU（振蕩器）- 用于長度為 118 in. 至 157 in.（3 m 至 4 m）的 XIU 至傳感器頭部電纜 |
| Cables | |
| 755-257-G6 | 15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜，XIU 至真空饋入件 |
| 600-1261-P15 | 4.6 米（15 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
| 600-1261-P30 | 9.1 米（30 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
| 600-1261-P50 | 15.2 米（50 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
| 600-1261-P100 | 30.5 米（100 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
| 名稱 | 說明 |
|---|---|
| 石英監控器晶體 | 石英監控器晶體 |
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