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    SQC-310 薄膜沉積控制器

    SQC-310 薄膜沉積控制器

    • 所屬分類:薄膜沉積和電子槍控制裝置

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    SQC-310 薄膜沉積控制器


    高精度連續鍍膜控制或共鍍膜控制

    SQC310_right_web.png
    憑借先進的技術、完善的顯示和實惠的價格,INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀無法企及的優勢??梢赃x擇適合您應用的理想型號:連續鍍膜 (SQC-310) 或共鍍膜 (SQC-310C)。

    功能

    • 明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本

    • 標準 RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網)

    • 設有“Quick Setup”(快速設定)菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕,易于設定和操作

    • 用于開發、測試和下載過程的 Windows? 程序,以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序

    • 精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒 10 個讀數,測量分辨率為 ±0.03 Hz

    • 存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料

    • 使用單傳感器或多傳感器監控源材料,提供精確的源分布監控

    規格

    類型SQC-310SQC-310C
    測量

    QCM 輸入
    2 (4 optional)4
    測量頻率范圍
    Adjustable:
    1.0 MHz minimum
    6.5 MHz maximum
    Adjustable:
    1.0 MHz minimum
    6.5 MHz maximum
    頻率分辨率 (1)
    ± 0.012 Hz± 0.012 Hz
    厚度和速率分辨率/測量 (2)
    ±0.015 ?±0.015 ?
    頻率穩定性
    ± 2 ppm total, 0 to 50C± 2 ppm total, 0 to 50C
    測量周期
    0.10 to 1.0 s (adjustable)0.10 to 1.0 s (adjustable)
    速率顯示
    0.01 ?/sec0.01 ?/sec
    控制

    存儲
    100 processes, 1000 layers, 50 films100 processes, 1000 layers, 50 films
    控制輸出
    2 (4 optional)4
    輸出信號
    ± 0 to 10 VDC, 15 bits± 0 to 10 VDC, 15 bits
    數字輸入/繼電器
    8/8 (16/16 optional)16/16
    數字輸入
    5 VDC non-isolated5 VDC non-isolated
    繼電器
    SPST Form 1A, 30V, 2A maxSPST Form 1A, 30V, 2A max
    接口
    Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
    遠程電源控制
    Optional (IPN 782-900-017)Optional (IPN 782-900-017)
    顯示器

    類型
    1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
    圖表
    Rate, deviation, power or full screen numericRate, deviation, power or full screen numeric
    一般

    功率
    100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
    合規性
    CE, RoHSCE, RoHS
    Windows? 軟件
    IncludedIncluded
    殼體/安裝
    5 1/4” half-rack5 1/4” half-rack
    (1) 0.25 秒測量間隔的分辨率
    (2) 工具/密度 = 100/1,基礎頻率= 6 赫茲,0.25 秒測量間隔

    零件號

    SQC-310-C_OrderChart_2013_web-01.png

    附件

    名稱說明
    前裝式單傳感器前裝式單傳感器
    前裝式雙傳感器前裝式雙傳感器
    炫酷抽屜單傳感器炫酷抽屜單傳感器
    炫酷抽屜雙傳感器炫酷抽屜雙傳感器
    UHV 可烘烤傳感器UHV 可烘烤傳感器
    濺射傳感器濺射傳感器
    CrystalSix 傳感器CrystalSix 傳感器
    Crystal 12 傳感器Crystal 12 傳感器
    RSH-600 旋轉式傳感器RSH-600 旋轉式傳感器
    零件號明細
    782-900-017手持功率控制裝置,10 ft. (3 m) 卷線
    782-900-007全高機箱擴展器 – 將一臺 SQC-310 或 Composer Elite 安裝到 19 in. 機架(包括封板)
    782-900-016機架適配器 – 將兩臺 SQC-310 儀器安裝到 19 in. 機架
    782-502-097-G1以太網擴展卡
    782-502-096-G2USB 擴展卡
    Oscillator kits(包括振蕩器和電纜)
    783-500-109-103 米(10 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 3 米(10 英尺)BNC 電纜
    783-500-109-257.6 米(25 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜
    783-500-109-5015.2 米(50 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜
    783-500-109-7522.8 米(75 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜
    Oscillator Only(未隨附電纜)
    783-500-013僅 OSC-100 振蕩器(無電纜)
    Cables
    782-902-01115.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,公型/母型
    782-902-012-103 米(10 英尺)BNC 電纜,公型/公型
    782-902-012-257.6 米(25 英尺)BNC 電纜,公型/公型
    782-902-012-5015.2 米(50 英尺)BNC 電纜,公型/公型
    782-902-012-7522.8 米(75 英尺)BNC 電纜,公型/公型

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體


    相關標簽:?薄膜沉積和電子槍控制裝置,SQC-310薄膜沉積控制器價格,SQC-310薄膜沉積控制器批發

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