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    Guardian EIES 控制器

    Guardian EIES 控制器

    • 所屬分類:薄膜沉積和電子槍控制裝置

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    Guardian EIES 控制器

    可同時沉積至多八種材料

    Guardian_web.png
    CIGS 薄膜的理想之選

    Guardian 可將沉積速度控制在 0.1 到 10,000 ?/s 范圍內。它可以操作一個或兩個傳感器,Z多 8 個光輸入,并控制Z多 8 個沉積源,因此能夠同時沉積Z多 8 種材料。

    INFICON Guardian 是光伏模塊、有機發光二極管、光伏、超導薄膜以及分子束外延制造等應用的理想之選。

    Guardian Codeposition 系統基于電子碰撞發射光譜 (EIES)。通過運用 EIES,要沉積的材料在熱離子發射體的作用下生熱,從而產生光子。 產生的光通過濾光器,到達光電倍增管 (PMT)檢測儀,光電倍增管檢測儀可以測量通過的波長的發射強度。 然后 INFICON Guardian 控制器產生 信號來控制該材料源。配備了合適濾光器的其它檢測儀可用于多種材料。 

    一套完整的 Guardian 系統至少包括一個傳感器、一個 PMT 檢測儀、一個濾光器、一個 Guardian 控制器單元以及一臺安裝了 Guardian 軟件的電腦(由用戶提供)。 EIES 通常用于控制多種材料的沉積,因此,大多數 EIES 系統還包括其他傳感器、檢測器、光學器件(例如分裂器)以及 QCM,QCM 用于校準或控制某些材料的沉積速率。 如需關于典型系統的更多信息,請參閱下面的 Downloads(下載)選項卡中的《Guardian 配置指南》。

    要配置 Guardian 共沉積系統,需要考慮以下幾點
    沉積材料的初級和二級發射波長為多少?

    如果不同材料的峰值過于 相近,您可能需要監控二級發射波長, 二級波長的信號強度較弱。

    在沉積過程中,真空室中存在哪些本底氣體? 這些本底氣體的發射波長 是多少?

    如果本底氣體的發射干擾了沉積材料,則建議使用氣體補償傳感器。

    對于特定發射光譜的原子種類, EIES 是Z為有效的。分子種類產生的發射光譜不穩定或者 過寬,無法準確測量。不建議將 EIES 用于有機材料。各個具體應用的 Z佳 EIES 系統配置由以上因素及其他因素確定。

    功能

    • 監控和控制多達 8 種材料的同時沉積過程

    • 從 0.1 至 10,000 ?/s 的沉積速率

    • 集成式 EIES 和 QCM 薄膜過程控制

    • 12 個繼電器輸出和 16 個數字輸入

    • 用于設置與操作的基于 Windows 的軟件

    • 與 INFICON Sentinel? 傳感器兼容

    規格

    類型Guardian EIES Controller
    檢測器
    光電倍增管 (PMT)
    Hamamatsu R7518 or equivalent
    光譜響應
    185 to 730 nm
    檢測限值
    Better than 5 fW of optical input power
    PMT 增益
    103 to 107 (detectors are independently adjustable)
    輸出分辨率
    20-bit
    光入射口
    Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick
    尺寸
    2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available)
    控制器
    傳感器

    016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in.

    016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in.

    檢測器
    Eight optical detector channels
    控制輸出
    Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable
    數字 I/O
    12 relay outputs and 12 logic inputs
    功率
    100-240 VAC, 50/60Hz, 150W
    尺寸
    19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm)
    合規性
    CE
    用戶界面軟件:
    Windows?-based setup program included with Controller
    軟件顯示沉積速率:
    4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 ?/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales.
    軟件顯示厚度:
    4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 K?
    用戶自備計算機:
    Any PC with Windows?Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface
    傳感器
    工作壓力
    <5x10-4 Torr
    溫度
    450° C maximum during operation and/or bakeout
    尺寸(近似)
    0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm)
    絲極壽命(典型值)
    ~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria
    傳感器饋入件連桿
    Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm)
    饋入件 / 法蘭
    One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF)

    零件號

    Guardian EIES Controller
    零件號明細
    782-900-031用于單傳感器(標準或氣體補償)的 Guardian 控制器
    782-900-050用于雙傳感器(標準或氣體補償)的 Guardian 控制器

    附件

    零件號明細
    EIES Sensors
    016-600-G22Guardian 標準單傳感器和饋入件組件,22 in. (539 mm),CF40 法蘭
    016-601-G22Guardian 氣體補償傳感器和饋入件組件,22 in. (539 mm),CF40 法蘭
    Beam Splitters光纖分束器可分割傳感器發出的光束以便于每個 EIES 傳感器測量多種材料。
    782-900-034Guardian 光纖分束器 (1:3) - 400 mm 長
    782-900-034-x-yyyGuardian 光纖分束器 (1:x) - yyy mm 長
    Filament Cables將 EIES 傳感器連接到 Guardian 控制器
    600-1406-P10Guardian 單絲電纜,10 ft. (3 m) – 用于標準 EIES 傳感器
    600-1406-P40Guardian 單絲電纜,40 ft. (12 m) – 用于標準 EIES 傳感器
    600-1407-P10Guardian 雙絲電纜,10 ft. (3m) – 用于氣體補償 EIES 傳感器
    600-1407-P40Guardian 雙絲電纜,40 ft. (12 m) – 用于氣體補償 EIES 傳感器
    PMT Detector
    782-900-030Guardian PMT 檢測器
    PMT Detector Cables將 PMT 檢測器連接到 Guardian 控制器
    782-505-065Guardian 檢測器電纜,10 ft. (3 m)
    782-505-065-40Guardian 檢測器電纜,40 ft. (12 m)
    Optical Filters選擇適合您材料的波長
    782-900-035-202光纖 - 202nm,BP10nm (Zn)
    782-900-035-241光纖 - 241nm,BP10nm(Co、Au)
    782-900-035-252光纖 - 252nm,BP10nm (Si)
    782-900-035-265光纖 - 265nm,BP10nm(Ge、Pt、Ta、Ir)
    782-900-035-267Optical Filter, 267 nm, Guardian
    782-900-035-294光纖 294nm,BP2nm (Hf)(Ga [使用氣體補償傳感器時])
    782-900-035-304光纖 304nm,BP2nm(Ba、In [使用氣體補償傳感器時])
    782-900-035-325光纖 - 325nm,BP10nm(Cu、Cd)
    782-900-035-358光纖 - 358nm,BP10nm(Nb、U、Cr)
    782-900-035-364光纖 - 364nm,BP10nm(Ti、Pb)
    782-900-035-396光纖 - 396nm,BP10nm (Al)
    782-900-035-417光纖 - 417nm,BP2nm (Ga)
    782-900-035-451光纖 - 451nm,BP5nm (In)
    782-900-070Guardian 單色儀套件

    備件

    零件號明細
    016-201-G1Emitter Assembly, EIES Sensor
    782-900-038Guardian 光電倍增管更換
    016-509-G22In-Vacuum Cable, 22 Inch, EIES Sensor
    782-530-015Guardian 傳感器絲極更換(用于中斷的 782-900-029 和 -052 傳感器)


    相關標簽:?薄膜沉積和電子槍控制裝置,GuardianEIES控制器價格,GuardianEIES控制器批發

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