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  • vat真空閥門

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    前裝式雙傳感器

    前裝式雙傳感器

    • 所屬分類:薄膜沉積和電子槍控制裝置

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    • 發布日期:2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    前裝式雙傳感器

    INFICON 前裝式雙晶體傳感器擁有經實踐檢驗的可靠性和耐用性,提供超越當前市場上的任何傳感器頭的Z佳熱穩定性。雙傳感器提供備用晶體,對于在真空室中需要第二晶體的關鍵過程至關重要。

    FrontLoadDualSensor_web.png
    前裝式設計允許在側面插入空間不足的應用中輕松插入晶體支架。經機械裝配而成,而不是焊接在一起,因此,您能夠在現場方便地更換其部件(如有必要)。傳感器可單獨訂購,或以傳感器/饋入件組合的形式訂購,該組合可焊接在一起,或通過壓縮接頭裝配在一起。

    功能

    • 雙晶體

    • 晶體閘

    • 前裝式晶體支架

    • 易于安裝

    • 隨附:2.54 cm (1 in.) 螺栓饋入件和 CF40 饋入件

    • 在配有壓縮接頭時可調長度

    • 在配有壓縮接頭或焊接到饋入件時無需銅焊

    • 焊接為客戶指定長度的傳感器/饋入件組合

    功能

    • 雙晶體

    • 晶體閘

    • 前裝式晶體支架

    • 易于安裝

    • 隨附:2.54 cm (1 in.) 螺栓饋入件和 CF40 饋入件

    • 在配有壓縮接頭時可調長度

    • 在配有壓縮接頭或焊接到饋入件時無需銅焊

    • 焊接為客戶指定長度的傳感器/饋入件組合

    規格

    類型Front Load Dual Sensor
    無水時的Z高烘烤溫度
    130° C
    Z小水流時的Z高工作等溫環境溫度
    400 ° C
    尺寸(無閘門的Z大外殼)
    1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
    水管和同軸長度,“E”傳感器
    Standard 30 in. (762 mm)
    晶體交換
    Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
    安裝
    Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
    安裝要求
    饋入件

    Qty. (1) 2? in. (69.85 mm) ConFlat? with 2 Microdot?, 2 pass water and air, or

    Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.

    其他

    1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1

    2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller.

    3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.

    實用工具

    1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.)

    2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]

    水質
    Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
    材料
    主體和支架
    304 Type stainless steel
    彈簧
    Au plated Be-Cu
    水管
    S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
    連接器 (Microdot)
    Stainless steel, Teflon? and glass insulated
    絕緣體
    >99% Al2O3
    電線
    Teflon insulated copper
    其他機械部件
    304 or 18-8 stainless steel
    銅焊
    Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
    晶體
    0.550 in. (13.97 mm) diameter
    1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(壓縮接頭)端接的饋入件規格:
    材料
    304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON?
    溫度
    Operational environment to 300oC with water cooling or 165° C without
    安裝
    1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
    CF 40 (2 3/4 in. ConFlat) 焊接式端接饋入件規格:
    材料
    304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
    溫度
    Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
    安裝
    Mates with 2 ? in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

    零件號

    FrontLoadDual_OrderChart_2013_web-01.png

    附件

    名稱說明
    QCM 傳感器饋入件QCM 傳感器饋入件
    Front Load Dual Sensor
    零件號明細
    750-420-G1電磁閥,24 伏(與帶閘門和多晶體傳感器配合使用)

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體

    備件

    Front Load Dual Sensor
    零件號明細
    007-007止動彈簧(用于晶體支架)
    007-023陶瓷夾持器
    080-018固定螺釘(用于母型同軸)
    082-044Teflon 螺釘(用于片簧)
    750-115-P4聯軸器(安裝到波紋管組件)
    750-169-P2波紋管組件(不包括聯軸器)
    750-171-P1指形彈簧觸點
    750-172-G1晶體支架(包括止動彈簧)
    750-174-P2母型同軸
    750-175-P1絕緣體(片簧下面)
    750-188-P3片簧
    008-007CRYSTAL SNATCHER
    750-210-G1閘門模塊(波紋管組件、軸組件和閘門組件)
    750-215-G1軸組件(閘門模塊的組成部分)
    750-216-G1閘門組件(閘門模塊的組成部分)
    In-vacuum cables
    321-039-G12真空電纜,15.2 厘米(6 英寸)
    007-252真空電纜,30.5 厘米(12 英寸)
    321-039-G11真空電纜,61.0 厘米(24 英寸)
    007-044真空電纜,78.1 厘米(30.75 英寸)
    007-059真空電纜,91.4 厘米(36 英寸)
    007-061真空電纜,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G13真空電纜,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G14真空電纜,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G15真空電纜,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
    321-039-G16真空電纜,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU


    相關標簽:?薄膜沉積和電子槍控制裝置,前裝式雙傳感器價格,前裝式雙傳感器批發

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