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  • vat真空閥門

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    炫酷抽屜雙傳感器

    炫酷抽屜雙傳感器

    • 所屬分類:薄膜沉積和電子槍控制裝置

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    炫酷抽屜雙傳感器

    炫酷抽屜雙傳感器設計用于在真空室中需要第二晶體的關鍵過程。擁有水冷澆鑄不銹鋼傳感器殼體、兩個炫酷抽屜晶體支架以及一個氣動閘門,可以為堅固耐用的傳感器頭提供超高的備份晶體可靠性。腔室中沒有同軸電纜,可以進行更純凈、更可靠的真空系統安裝。

    CoolDrawerDualSensor_web.png

    功能

    • 雙晶體

    • 炫酷抽屜晶體支架

    • 無內部電纜

    • 晶體閘

    • 隨附:CF40 饋入件和 2.54 cm (1 in.) 螺栓饋入件

    • 在配有焊接式 CF40 法蘭時可烘烤

    • 在配有壓縮接頭時可調長度

    • 焊接為客戶指定長度的傳感器/饋入件組合

    規格

    類型Cool Drawer Dual Sensor
    表面加工
    Stainless steel, gold plated Cool Drawer?
    冷卻水
    Minimum water flow of 150 to 200 cm3/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze)
    晶體
    Industry standard 0.550 in. diameter
    空氣源
    55 to 60 PSI regulated
    電氣連接
    Two standard female BNCs on atmosphere side
    1 in. 螺栓和壓縮接頭密封端接
    材料
    304 stainless steel, Teflon?, ceramic, beryllium nickel, VITON?
    溫度
    Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
    安裝
    1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
    CF 40 焊接式端接
    材料
    304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel
    溫度
    Operational environment to 450° C with water cooling or 200° C without
    安裝
    Mates with 2 ? in. ConFlat?type flanges

    附件

    Cool Drawer Dual Sensor
    零件號明細
    750-420-G1電磁閥,24 伏(與帶閘門和多晶體傳感器配合使用)

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體

    備件

    Cool Drawer Dual Sensor
    零件號明細
    123259炫酷抽屜傳感器晶體夾持器
    123261炫酷抽屜傳感器抽屜
    123260炫酷抽屜傳感器抽屜和夾持器組件
    147206-2Bellows, 35 in. Tube, Cool Drawer Sensor
    147207Bellows and Cover, Cool Drawer Sensor
    147401Shutter, Cool Drawer Dual Sensor
    147402Link, Cool Drawer Sensor
    147403ACTUATOR - DUAL SENSOR HEAD
    147406* 波紋管支架
    147407RETAINER BELLOWS COVER POLISHED
    147408Threaded Bar 2x56 for Bellows
    147411Spacer, Cool Drawer Sensor
    147424Bellows Guide Tube Electropol
    082-026Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
    082-064* 緊鎖墊圈
    084-205* #4-40 x 3/16 十字槽螺釘
    800128LCKWSHR SPLIT #4 - USE 070-201 / 084-054
    8003714-40 Stainless Steel .187 Shoulder Screw
    800372WASHER .174 IDx.309 OD x .060
    800416* 6-32 x 3/16 in. 固定螺釘
    803313Spring, 0.360 in. x 1.000 in. x .032 in.
    123223-2導管銅焊組件 – 短引腳
    803102用于 5 端口可調饋入件的 O 形密封圈
    803261WASHER .235OD X .134ID X .030 302-304 S


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