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  • vat真空閥門

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    濺射傳感器

    濺射傳感器

    • 所屬分類:薄膜沉積和電子槍控制裝置

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    • 發布日期:2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    濺射傳感器

    INFICON 濺射傳感器專為各種濺射過程而設計。鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管在濺射環境中可實現Z佳冷卻效果。傳感器頭內置的磁鐵可抑制因外部磁場偏轉濺射系統中的高能自由電子而引起的過熱。后裝式晶體支架設計便于更換晶體,更換時無需從系統中拆卸傳感器頭。

    SputteringSensor_web.png

    功能

    • 鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管可實現Z佳冷卻效果

    • 磁鐵可偏轉自由電子,使其遠離監控器晶體

    • 利用可彎曲的水管輕松安裝,靈活放置傳感器

    • 后裝式晶體插入便于更換晶體

    規格

    類型Sputtering Sensor
    無水時的Z高烘烤溫度
    105°C
    Z小水流時的Z高工作等溫環境溫度
    400° C
    尺寸(Z大外殼)
    1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
    水、空氣和同軸長度
    Standard 30 in. (76.2 cm)
    晶體交換
    Rear-loading
    安裝
    Customer supplied
    安裝要求
    饋入件

    2 pass water with coax connector

    2? in. ConFlat? Flange – IPN 002-043

    1 in. Bolt – IPN 002-042

     

    其他

    1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

    2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

    水流速
    Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
    材料
    主體和支架
    Au plated Be-Cu
    彈簧、電氣觸點
    Au plated Be-Cu
    水管
    Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
    連接器
    304 Stainless steel
    絕緣體
    99% Al2O3
    電線
    Teflon? insulated copper
    焊料
    Cadmium free silver and indium alloys
    晶體
    0.550 in. (1.4 cm) Diameter
    磁鐵
    ALNICO 5 Alloy
    可選閘門組件 750-005-G1 規格:
    溫度
    130° C
    1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(壓縮接頭)端接:
    材料
    304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON?
    溫度
    Operational environment to 300oC with water cooling or 165oC without
    安裝
    1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
    CF 40 焊接式端接:
    材料
    304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
    溫度
    Operational environment to 450oC with water cooling or 165oC without
    安裝
    Mates with 2 ? in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

    零件號

    Sputtering Sensor
    零件號明細
    750-618-G1濺射傳感器(僅傳感器,不包括饋入件)

    附件

    名稱說明
    QCM 傳感器饋入件QCM 傳感器饋入件
    Sputtering Sensor
    零件號明細
    750-005-G1用于濺射傳感器的氣動閘門組件(僅閘門組件,不包括傳感器)
    750-420-G1電磁閥,24 伏(與帶閘門和多晶體傳感器配合使用)

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體

    備件

    Sputtering Sensor
    零件號明細
    007-023陶瓷夾持器
    007-049Crystal Holder, Sputtering Sensor
    007-007止動彈簧(用于晶體支架)
    007-047Front Cover, Sputtering Sensor
    007-009DET, MAGNET
    070-0440Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
    070-0442定位環(安裝到閘門組件的軸上)
    070-0441Spacer, B4-4, Stainless Steel
    082-044Teflon 螺釘(用于片簧)
    082-029-P1SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
    750-009-P2COVER, PIVOT FINISHED
    750-046-G2SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
    750-048-P1Retainer Spring, CrystalSix
    750-115-P4聯軸器(安裝到波紋管組件)
    750-169-P4用于氣動閘門組件的波紋管組件
    750-174-P2母型同軸
    750-175-P1絕緣體(片簧下面)
    750-188-P3片簧
    008-007CRYSTAL SNATCHER
    750-619-G1Body, Sputtering Sensor
    750-626-P1Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
    In-vacuum cables
    321-039-G12真空電纜,15.2 厘米(6 英寸)
    007-252真空電纜,30.5 厘米(12 英寸)
    321-039-G11真空電纜,61.0 厘米(24 英寸)
    007-044真空電纜,78.1 厘米(30.75 英寸)
    007-059真空電纜,91.4 厘米(36 英寸)
    007-061真空電纜,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G13真空電纜,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G14真空電纜,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G15真空電纜,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
    321-039-G16真空電纜,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU


    相關標簽:?薄膜沉積和電子槍控制裝置,濺射傳感器價格,濺射傳感器批發

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