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  • vat真空閥門

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    CrystalSix 傳感器

    CrystalSix 傳感器

    • 所屬分類:薄膜沉積和電子槍控制裝置

    • 點擊次數:
    • 發布日期:2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    CrystalSix 傳感器


    INFICON CrystalSix 晶體對于要求連續監控速率的長時間過程非常重要。CrystalSix 傳感器在一個傳感器頭中含有 6 顆石英監控器晶體,為 OLED、MBE、太陽能、長時間光學鍍膜或其他需要長時間腔室排氣的過程提供安全性。與 INFICON 薄膜沉積監控器結合使用時,CrystalSix 在當前晶體失效或不穩定的情況下,會自動將新的晶體轉動到適當的位置。晶體更換是自動完成的,不會中斷您的過程,支持持續監控沉積速率。

     

    晶體索引通過氣動機制完成。相比同類裝置使用的昂貴的真空發熱電機,這種氣動馬達可提供更好的晶體熱穩定性。一個 8 英寸的水冷卻管保持傳感器頭的熱穩定性,并提供晶體位置的靈活性。

     

    與某些 INFICON 薄膜控制器結合使用時,傳感器提供位置反饋,因此可針對特定的材料安排特定的位置。

    CrystalSix_web.png

    功能

    • 裝有 6 顆晶體,可進行可靠的自動轉換,從而Z大限度延長過程運行時間

    • 晶體轉換由空氣驅動完成(競爭產品是使用生熱電機),因而晶體溫度非常穩定

    • 1/8" 管保持熱穩定性,并提供傳感器放置的靈活性

    • 提供可選晶體閘

    規格

    類型CrystalSix Sensor
    無水時的Z高烘烤溫度
    130°C
    Z小水流時的Z高工作等溫環境溫度
    400° C
    水、空氣和同軸長度
    Standard 30 in. (76 cm)
    晶體交換
    Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)
    安裝
    Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
    尺寸(Z大外殼)
    3.8 in. (9.7 cm) DIA x 2.0 in. (5.1 cm) high
    安裝要求
    饋入件

    Qty (1) 2? in. ConFlat? with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-685-G1,

     or,

    Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

    or,

    Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1,

     

    其他

    User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes.

    Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with CrystalSix accessory kit.)

    實用工具
    Z小水流

    150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze).

    Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur.

    可調節的空氣源
    80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa – 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
    材料
    板、支架、材料罩、機械部件
    304 type stainless steel
    彈簧、電氣觸點
    Au plated Be-Cu, Au Plate Inconel, 303 stainless steel
    水管和空氣管
    S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing
    連接器 (Microdot?)
    Stainless steel
    絕緣體
    >99% Al2O3
    電纜
    Teflon? insulated copper
    晶體
    0.550 in. Diameter
    主體和圓盤
    2024 T351 Aluminum

    零件號

    CrystalSix Sensor
    零件號明細
    750-446-G1CrystalSix 傳感器(僅傳感器,不包括饋入件)

    附件

    名稱說明
    QCM 傳感器饋入件QCM 傳感器饋入件
    CrystalSix Sensor
    零件號明細
    750-420-G1電磁閥,24 伏(與帶閘門和多晶體傳感器配合使用)

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體

    備件

    CrystalSix Sensor
    零件號明細
    007-007止動彈簧(用于晶體支架)
    007-023陶瓷夾持器
    070-01702 SPLIT LOCKWASHER SS
    070-03985103-12H,EXT CRESCENT RET RIN
    070-0777Compression Spring, CrystalSix
    070-0778Ball Bearing, CrystalSix
    070-0779Ball Bearing, CrystalSix
    070-0870Washer, Teflon, CrystalSix
    070-0877Shim Spacer, CrystalSix
    070-0879Ball Bearing, CrystalSix
    073-114.022 DIA SS WIRE SPR TMPR 304
    082-026Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
    750-048-P1Retainer Spring, CrystalSix
    750-175-P1絕緣體(片簧下面)
    750-188-P2片簧
    750-249-P2Retaining Pin, CrystalSix Sensor
    750-250-G1Deposition Shield, CrystalSix Sensor
    750-256-P2Extension Spring
    750-257-P3Corrugated Spring, CrystalSix Sensor
    750-261-G1Carousel Assembly, CrystalSix Sensor
    750-262-G1晶體支架
    750-265-G1Top Plate Weld Assembly, CrystalSix
    750-276-P2DET,ACTUATOR COVER PASSIVATED
    750-278-P2DET,WATER LINE
    750-286-P2Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12
    750-290-P3Electrical Contact, CrystalSix Sensor
    750-291-P1Detent, CrystalSix/Crystal 12
    750-293-P2Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
    750-294-P2Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
    750-295-G1Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor
    750-336-G1電阻網絡組件
    750-338-P1DET, CONTACT INSULATOR
    In-vacuum cables
    321-039-G12真空電纜,15.2 厘米(6 英寸)
    007-252真空電纜,30.5 厘米(12 英寸)
    321-039-G11真空電纜,61.0 厘米(24 英寸)
    007-044真空電纜,78.1 厘米(30.75 英寸)
    007-059真空電纜,91.4 厘米(36 英寸)
    007-061真空電纜,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G13真空電纜,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G14真空電纜,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
    321-039-G15真空電纜,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
    321-039-G16真空電纜,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU


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