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    RSH-600 旋轉式傳感器

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    RSH-600 旋轉式傳感器

    RSH-600 旋轉式傳感器

    • 所屬分類：薄膜沉積和電子槍控制裝置

    • 點擊次數：
    • 發布日期：2018/01/04
    • 在線詢價
    詳細介紹

    RSH-600 旋轉式傳感器

    適用于Z苛刻應用的卓越晶體性能
    RSH_2.png

    RSH-600 旋轉式傳感器頭設計用于需要采用非常厚的薄膜和多種不同材料的苛刻應用。RSH-600 將六顆晶體固定在熱屏蔽、水冷卻的殼體中，確保在溫度高達 300°C 的應用環境下獲得卓越的晶體性能。晶體固定在一個易于拆卸的 Teflon? 和不銹鋼晶體支架中。

    功能

    • 六顆晶體

    • 位置反饋（視控制器而定）

    • 可調長度（帶可選法蘭）

    • 堅固耐用的設計

    規格

    類型RSH-600 Rotary Sensor
    晶體數量
    		Six
    晶體尺寸
    		14 mm (0.550 in.) diameter
    安裝孔
    		50.8 mm (2.0 in.) diameter
    總長度
    		See Data Sheet
    真空可調長度
    		See Data Sheet
    電源要求
    		24 V (dc) Solenoid Valve:
    21.6 - 26.4 V (dc), 40 mA

    115 V (ac) Solenoid Valve:
    90 - 132 V (ac), 36/32 mA rms (50/60 Hz)
    晶體轉換方法
    		Air Actuated @ 55 psi (4 kg/cm2) regulated
    冷卻方法
    		Water cooled at 5 L/m at 2 kg/cm2 (28 psi) (Do not allow to freeze)
    空氣和水連接
    		One ? in. quick connect for air, two ? in. compression fittings for water
    無水時的Z高烘烤溫度
    		130° C
    工作溫度（水冷）
    		300° C max with stainless steel head cover 

    400° C max with copper head cover
    重量
    		RSH-600 ~ 8.5 lb. (3.8 kg), varies with overall length
    材料
    		304 stainless steel, Teflon?, Beryllium Nickel

    零件號

    RSH_OrderChart_2016_web.png

    附件

    RSH-600 Rotary Sensor
    零件號明細
    153202Adjustable Flange, RSH-600
    153204晶片夾持器組件，平
    153204-2晶片夾持器組件，彎
    153731RSH-600 探頭蓋，銅，平
    153731-2RSH-600 探頭蓋，銅，彎
    153708RSH-600 探頭蓋，不銹鋼，平
    153713RSH-600 探頭蓋，不銹鋼，彎

    耗材

    名稱說明
    石英監控器晶體石英監控器晶體

    備件

    RSH-600 Rotary Sensor
    零件號明細
    153706Spring Retainer Assembly, Flat ,RSH-600
    153707Solenoid Valve, 24 VDC, RSH-600
    153709Retainer Screw, RSH-600, Flat Head
    153710Crystal Holder, Flat, RSH-600
    153714Spring Retainer Assembly, Angled,RSH-600
    153715Retainer Screw, RSH-600, Angled Head
    153716Crystal Holder, Angled, RSH-600
    153722Signal/Ground Contact Module, RSH-600
    153724Spring Retainer Contact Kit, RSH-600
    153726Spring Contact, RSH-600
    889128Position Feedback Cable, RSH-600
    889128-27 針母型連接器
    144-101用于平面晶體夾持器的 M3x6 SOC 凹頭螺釘


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