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德國普發pfeiffer vacuum干泵A1804X維修保養
| 品牌： | 德國Pfeiffer普發 | 型號： | A1804X |
Pfeiffer Adixen A1804X Multi Stage Dry Process Pump
Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列技術參數：
型號 | A 124 H | A 604 H | A 1204 H | A 204 H | A 804 H | A 1504 H | A 1804 H |
抽速 m3/h | 110 | 560 | 1150 | 160 | 700 | 1200 | 1700 |
極限真空 | 2X10-2 | 2X10-4 | 9X10-4 | 5X10-2 | 2X10-3 | 2X10-3 | 2X10-3 |
極限真空 | 5X10-2 | 6X10-3 | 6X10-3 | 2X10-1 | 9X10-3 | 9X10-3 | 9X10-3 |
全轉速Z大進氣氣流 SLM | 80 | 60 | 55 | 150 | 100 | 100 | 70 |
Z大功率 KW | 1.5 | 1.9 | 2.3 | 1.8 | 2.2 | 2.6 | 2.6 |
Z大排氣壓力hPa | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
進氣口 ISO-KF | DN 50 | DN 100 | DN 160 | DN 50 | DN 100 | DN 160 | DN 160 |
重量 kg | 250 | 370 | 530 | 260 | 380 | 540 | 540 |
德國 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導體、光伏等腐蝕性強的行業，干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求，特殊的耐腐蝕工藝設計保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高，有效降低了企業成本。
普發干式真空泵PFEIFFER A4X 系列核心優勢：
干式真空泵 A4X 系列應用：
半導體：（蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行業：光伏和 LED
耐腐蝕設計，使用壽命長
通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標準
特殊設計，避免真空泵發生爆裂或可冷凝物沉積
配置氮氣吹掃閥，耐粉塵
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